Ingurumenaren babesari gero eta arreta handiagoa ematen zaio, batez ere laino-eguraldiaren gorakadarekin.Gela garbien ingeniaritza ingurumena babesteko neurrietako bat da.Nola erabili gela garbien ingeniaritza ingurumena babesteko lan ona egiteko?Hitz egin dezagun gela garbien ingeniaritzako kontrolari buruz.
Tenperatura eta hezetasuna kontrolatzea gela garbian
Espazio garbien tenperatura eta hezetasuna prozesuko eskakizunen arabera zehazten dira batez ere, baina prozesuko eskakizunak betetzeko orduan, giza erosotasuna kontuan hartu behar da.Airearen garbitasun-baldintzak hobetzearekin batera, tenperatura eta hezetasun baldintzak zorrotzagoak izateko joera dago prozesuan.
Printzipio orokor gisa, prozesatzeko doitasuna gero eta handiagoa dela eta, tenperaturaren gorabeheraren eskakizunak gero eta txikiagoak dira.Esate baterako, eskala handiko zirkuitu integratuen ekoizpenaren litografia eta esposizio prozesuan, maskara material gisa erabiltzen diren beira eta siliziozko obleen arteko hedapen termikoaren koefizientearen aldea gero eta txikiagoa da.
100 μm-ko diametroa duen siliziozko obleak 0,24 μm-ko hedapen lineala eragiten du tenperatura 1 gradu igotzen denean.Hori dela eta, ± 0,1 ℃-ko tenperatura konstantea beharrezkoa da, eta hezetasun-balioa, oro har, baxua da, izerdiaren ondoren, produktua kutsatuko delako, batez ere sodioaren beldur diren erdieroaleen tailerretan.Tailer mota honek ez du 25 ℃ baino handiagoa izan behar.
Gehiegizko hezetasunak arazo gehiago eragiten ditu.Hezetasun erlatiboa % 55 gainditzen duenean, kondentsazioa sortuko da hozte-uraren hodiaren horman.Doitasun gailu edo zirkuituetan gertatzen bada, hainbat istripu sor ditzake.Hezetasun erlatiboa % 50 denean, erraz herdoiltzen da.Gainera, hezetasuna handiegia denean, siliziozko oblearen gainazalean atxikitako hautsa kimikoki xurgatuko da airean dauden ur molekulen bidez, eta hori kentzen zaila da.
Zenbat eta hezetasun erlatiboa handiagoa izan, orduan eta zailagoa da atxikimendua kentzea.Hala ere, hezetasun erlatiboa % 30etik beherakoa denean, partikulak ere erraz xurgatzen dira gainazalean indar elektrostatikoen eraginez, eta erdieroaleen gailu ugari matxuratzeko joera dute.Siliziozko obleak ekoizteko tenperatura-tarte optimoa % 35-45 da.
Airearen presioakontrolagela garbian
Espazio garbi gehienetan, kanpo-kutsadura inbaditzea saihesteko, beharrezkoa da barne-presioa (presio estatikoa) kanpoko presioa baino altuagoa izatea (presio estatikoa).Presio-diferentzia mantentzeak, oro har, printzipio hauek bete behar ditu:
1. Gune garbietako presioa leku garbietan dagoena baino handiagoa izan behar da.
2. Garbitasun-maila altua duten espazioetako presioak garbitasun-maila baxua duten ondoko espazioetakoa baino handiagoa izan behar du.
3. Gela garbien arteko ateak garbitasun maila altua duten geletara ireki behar dira.
Presio-diferentzia mantentzea aire fresko kantitatearen araberakoa da, eta presio-diferentzia horren azpian dagoen hutsunearen aire-ihesak konpentsatzeko gai izan behar du.Beraz, presio-diferentziaren esanahi fisikoa gela garbiko hainbat hutsuneetatik ihesaren (edo infiltrazioaren) aire-fluxuaren erresistentzia da.
Argitalpenaren ordua: 2023-07-21