IC fabrikazioko industrian txiparen errendimendu-tasa oso lotuta dago txipan metatutako aire partikulen tamainarekin eta kopuruarekin. Aire-fluxu-iturriak gela garbiarengandik sortutako partikulak har ditzake gela garbiaren garbitasuna bermatzeko, hau da, gela garbiaren aireztapen-antolamenduak funtsezko eginkizuna du IC ekoizpenaren errendimendu-tasan. Gela garbian aire-fluxuen antolaketaren diseinuak helburu hauek lortu behar ditu: murrizketa edo ezabatu fluxuaren eremuan dagoen eddy korrontea partikula kaltegarriak saihesteko; presio positibo egokia mantendu kutsadura gurutzatua saihesteko.
Aire-fluxuaren indarra
Gela garbiaren printzipioaren arabera, partikulen gainean jokatzen duten indarrek masa-indarra, indar molekularra, partikulen, aire fluxuaren indarraren eta abarren artean daude.
Aire-fluxua: entrega, itzultzeko aire-fluxua, konbokzio termikoko aire-fluxua, estaldura artifiziala eta beste aire-fluxu batzuk fluxu-tasa bat egiteko. Gela garbiaren ingurunearen kontrol teknikoa lortzeko, aire-fluxua da faktore garrantzitsuena.
Esperimentuek erakutsi dute aire-fluxuaren mugimenduan, partikulek aire-fluxuaren mugimendua jarraitzen dute ia abiadura bereko. Aireko partikulen egoera aire-fluxuen banaketaren arabera zehazten da. Barruko partikuletan eragina duten aire-fluxuak batez ere: aire hornidura aire-fluxua (aire-fluxu primarioa eta bigarren mailako aire-fluxua barne), aire-fluxua eta konbekzio termikoa dira, ibiltzeak eragindakoak eta prozesuko funtzionamenduaren eta industria-ekipoek eragindako aire-fluxua. Aire hornidura metodo desberdinak, abiadura interfazeak, operadoreak eta industria ekipamenduak eta areto garbietan eragindako fenomenoak garbitasun mailan eragina duten faktore guztiak dira.
Aire-fluxuen antolaketan eragina duten faktoreak
1. Aire hornidura metodoaren eragina
(1). Aire hornidura abiadura
Aire-fluxu uniformea ziurtatzeko, aire hornidura abiadura uniformea izan behar da unidirectional gela garbian; Aire horniduraren azaleraren hildako zona txikia izan behar da; Eta Ulpako presio jaitsiera ere uniformea izan behar da.
Aire-hornidura abiadura uniformea: hau da, aire-fluxuaren desoreka% 20ren barruan kontrolatzen da.
Hildako gunea, aire horniduraren gainazalean: Ulpa markoaren planoaren eremua murriztu ez ezik, garrantzitsuagoa dena, FFU modularra hartu behar da marko erredundantea errazteko.
Unidirectional aire-fluxu bertikala ziurtatzeko, iragazkiaren presio-jaitsiera hautatzea ere oso garrantzitsua da, iragazkian presio galera ezin dela desbideratu behar.
(2). FFU sistemaren eta fluxu axialen zaleen arteko konparazioa
FFU aire hornidura unitatea da, zaletua eta iragazkia (ULPA). Airea FFUko Zale Zentrifugoaren arabera xurgatu ondoren, presio dinamikoa presio estatiko bihurtzen da aire hodian eta Ulpa-k modu berdinean pizten du. Sabaian dagoen aire horniduraren presioa presio negatiboa da, beraz, hautsik gabeko gela garbian sartu ez dadin. Esperimentuek ffu sistema fluxu axialen fan sistemaren gainetik dagoela frogatu dute, airearen irteera uniformetasunari dagokionez, aire-paralelismoaren eta aireztapen-eraginkortasunaren indizeari dagokionez. Hau da FFU sistemaren aire-paralelismoa hobea delako. FFU sistemaren erabilerak aire-fluxua plano garbian antolatu dezake hobeto antolatuta.
(3). FFUren egituraren eragina
FFU batez ere zaleek, iragazkiek, aire-fluxuen gida gailuek eta beste osagaiek osatzen dute. Ulta Ultra-High Gogor Ulpa da, gela garbiak diseinuaren beharrezko garbitasuna lor dezakeen ala ez. Iragazkiaren materialak fluxu eremuaren uniformetasunean ere eragina izango du. Iragazki-material lodia edo fluxu laminar plaka gehitzen denean iragazkiaren irteerari, irteerako fluxuaren eremua uniformea izan daiteke.
2. Garbitasunaren abiadura desberdinen eragina
Gela garbi berean, lan-eremuaren eta unidirectional fluxu bertikalaren artean lan-eremuaren artean, Ulpa irteeran dagoen airearen abiaduraren aldea dela eta, vortex efektu mistoa interfazean sortuko da eta interfaze hau turbulentea bihurtuko da aire-fluxuaren gunea, bereziki aire turbulentzia intentsitatearekin. Partikulak ekipamenduaren azalera transmititu eta ekipamenduak eta ogiak kutsatu daitezke.
3. Langileen eta ekipoen eragina
Gela garbia hutsik dagoenean, gelako aire-fluxuen ezaugarriak orokorrean diseinu baldintzak betetzen dituzte. Ekipamendua gela garbian sartu ondoren, langileen mugimendua eta produktuak transmititzen dira, ezinbestean aire libreko antolaketaren oztopoak izango dira. Adibidez, ekipoen ertzetan edo ertzetan, gasa desbideratuko da zona turbulente bat osatzeko, eta zonaldeko fluidoak ez du gasak erraz eramaten, eta, beraz, kutsadura eragin du. Aldi berean, ekipoaren gainazala berotu egingo da etengabeko eragiketa dela eta, eta tenperaturaren gradienteak makinaren ondoan islatzeko gunea eragingo du, eta horrek isluko eremuan partikulen metaketa areagotuko du. Aldi berean, tenperatura altuak erraz eragingo ditu partikulak ihes egitea. Efektu bikoitzak laminaren garbitasun bertikal orokorra kontrolatzeko zailtasuna areagotzen du. Gela garbian operadoreen hautsa oso erraza da errefluo zona horietan ogiak atxikitzea.
4. Itzulera Airearen Solairuaren eragina
Itzultzeko airearen erresistentzia solairutik pasatzen denean, presioaren aldea sortuko da, airea erresistentzia txikiagoaren norabidean isuriko da eta aire-fluxu uniformea ez da lortuko. Egungo diseinu popular metodoa zoru altuak erabiltzea da. Goiko solairu altuen irekiera-tasa% 10 denean, gelako lanaren altueran aire-fluxuaren abiadura berdindu daiteke. Gainera, arreta zorrotza ordaindu behar da garbiketa lanei lurraren kutsadura iturri murrizteko.
5. Indukzio fenomenoa
Indukziozko fenomeno deiturikoak fenomenoari fenoflow floflow-en kontrako norabidean sortzen da, eta gelan sortutako hautsa edo ondoko kutsatutako eremuko hautsa hautsitako aldetik sortzen da, beraz, hautsa izan dadin txipa kutsatu dezake. Honako hauek dira indukzio fenomenoak:
(1). Plaka itsu
Unidirectional fluxu bertikala duen gela garbi batean, horman artikulazioengatik, normalean, plaka itsu handiak daude, tokiko itzulera fluxuan turbulentzia sortuko dutenak.
(2). Lanpara
Gela garbiaren argiztapenak eragin handiagoa izango du. Lanpara fluoreszenteen beroak aire-fluxua igotzea eragiten duenez, ez da eremu turbulentorik egongo lanpara fluoreszenteen azpian. Orokorrean, gela garbian dauden lanparak malko forma batean diseinatuta daude, lanparak aire-fluxuen antolaketan eragina murrizteko.
(3.) Hormen arteko hutsuneak
Garbitasun maila desberdinak dituzten partizioen arteko hutsuneak daudenean edo partizioen eta sabaien artean, garbitasun eskakizun txikiak dituzten eremuko hautsa ondoko eremura transferi daiteke garbitasun eskakizun handiekin.
(4). Makinaren eta zoruaren edo hormaren arteko distantzia
Makinaren eta zoruaren edo hormaren arteko hutsunea oso txikia bada, errebote turbulentzia eragingo du. Beraz, utzi ekipamenduaren eta hormaren artean hutsune bat eta altxatu makina makina zuzenean lurra ukitzen ez uzteko.
Ordua: otsailak 05-2025